Suhe mehanske vakuumske črpalke imajo širok spekter uporabe, predvsem na naslednjih področjih:
V procesu priprave polisilicija v sistemih nizkotlačnega kemičnega naparjevanja (LPCVD);
V postopkih jedkanja polprevodnikov. Ti proizvodni procesi pogosto vključujejo uporabo ali ustvarjanje jedkih plinov in abrazivnih delcev;
V določenih-postopkih ustvarjanja delcev-zunaj industrije polprevodnikov-kjer ni zaželeno, da bi se delci mešali z oljem črpalke, ampak je zaželeno, da se izločijo iz črpalke; za izpolnjevanje teh zahtev je mogoče uporabiti posebne vrste suhih mehanskih vakuumskih črpalk;
Pri postopkih destilacije, sušenja, razplinjevanja in pakiranja v kemični, farmacevtski in prehrambeni industriji, kjer je treba preprečiti kontaminacijo z organskimi topili, so suhe vakuumske črpalke primerna izbira;
Kot pred-črpalke (črpalke za grobo obdelavo) v splošnih-neoljnih čistih vakuumskih sistemih, da se prepreči onesnaženje z oljem.
