Suhe vakuumske črpalke imajo predvsem naslednje oblike:
Twin{0}}Lobe Type
Zasnova dvo-režaste črpalke je zelo podobna črpalki Roots, ki je trenutno najbolj priljubljena in pogosto uporabljena vrsta. Pravzaprav so nekateri najzgodnejši koncepti zasnove suhih črpalk v bistvu vključevali zlaganje več črpalk Roots skupaj. Rezultat te več-stopenjske zasnove je precej zapletena pot pretoka plina, vsaka stopnja pa zahteva znaten pretok plinastega dušika, ki služi kot razredčilo in pregrada. Poleg tega so za doseganje visoke stopnje vakuuma potrebne izjemno stroge tolerance glede razmikov med stopnjami. Seveda, ker ta oblika poveča notranje kompresijsko razmerje, je njegova poraba energije relativno nizka.
Tri{0}}vrsta
Načelo delovanja tri-lobnega tipa je enako principu dvo-lobnega tipa; edina razlika je v tem, da se plin med eno samo rotacijo razdeli na tri ločene pakete-in ne na dva, kot je to v primeru zasnove z dvojnimi-reži. Posledično imata ta dva dizajna enak niz prednosti in slabosti. Za nadaljnje zmanjšanje porabe energije se nekateri proizvajalci odločijo za uporabo dveh enosmernih motorjev v pogonskem mehanizmu; vendar ima ta pristop tudi zmanjšan navor in zmanjšano zmogljivost za ponovni zagon črpalke. Kot pri zasnovi z dvema-lopama, vsaka stopnja zasnove s tri-lopaticami zahteva precejšen pretok plinastega dušika za izvajanje funkcij redčenja in izolacije.
Hibridni tip (korenine + kremplji)
Hibridna zasnova (Roots + Claw) uporablja stopnjo Roots za izboljšanje učinkovitosti črpanja pri nižjih ravneh tlaka, medtem ko uporablja stopnjo Claw za povečanje učinkovitosti pri višjih ravneh tlaka. Njegova temeljna načela delovanja in pot pretoka plina so enaki tistim pri zgoraj omenjenih zasnovah tipa lobe-. Nekateri proizvajalci pa se odločijo zamenjati zadnjo stopnjo z zasnovo tipa "zvezda-"; ta konfiguracija omogoča, da se plin razdeli na pet ločenih paketov na rotacijo-približno na enak način, kot ga tri-zasnova razdeli na tri. Podobno v mnogih zapletenih procesnih aplikacijah vsaka stopnja hibridne zasnove zahteva znaten pretok plinastega dušika, ki služi kot razredčilo in pregrada.
Vrsta zunanjega stiskalnega vijaka
Zasnova tipa zunanjega stiskalnega vijaka- uporablja par enako oddaljenih vijakov. Ta konfiguracija zmanjša notranjo kompresijo, hkrati pa ustvari najkrajšo in najpreprostejšo možno pot pretoka plina. Posledično je čas zadrževanja plina v komori črpalke na absolutnem minimumu. Čeprav ima ta zasnova sorazmerno večjo porabo energije zaradi zmanjšanega notranjega kompresijskega razmerja, dokazuje izjemno stabilnost in zanesljivost v številnih zapletenih procesih izdelave polprevodnikov. Ta eno{5}}stopenjska zasnova nalaga minimalne in preproste zahteve glede porabe dušika, s čimer zagotavlja odlično medsebojno zamenljivost med različnimi procesi. V številnih čistih procesih se lahko uporaba dušika celo popolnoma opusti.
Vijačne črpalke z notranjim stiskanjem
Poleg uporabe para ne{0}}izoparametričnih vijakov so temeljna načela delovanja zasnove vijačne črpalke z notranjim stiskanjem zelo podobna načelom delovanja vijačne črpalke z zunanjim stiskanjem. Nenehno zmanjševanje prostornine med vijaki povzroča notranjo kompresijo. Z olajšanjem te notranje kompresije ta zasnova zmanjša porabo energije na raven, ki je primerljiva z več-stopenjskimi črpalkami. Vendar je v številnih procesih-podobno kot pri več-stopenjskih črpalkah-ta notranja kompresija zelo nagnjena k povzročanju fizikalno-kemičnih sprememb v plinu v ohišju črpalke, kar lahko povzroči strjevanje ali utekočinjenje.
